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東京大学 工学系研究科 機械工学専攻 2016年8月実施 機械工学第2部 問題 1

Author​

祭音Myyura (Based on SN's answer refined with GPT 6 Astra)

Description​

下記の I,II の両方について解答せよ。I の解答に答案用紙 1 枚を,II の解答に答案用紙 1 枚をそれぞれ用いること。

I​

固体の基板上に固体の薄膜を成膜する際,その内部に応力が生じて基板と薄膜が変形することを考える。基板と薄膜は等方弾性体であり,平面応力条件が適用できるほど十分に薄い。また,xx と yy 軸方向の垂直応力 σx,σy\sigma_x,\sigma_y 及び垂直ひずみ εx,εy\varepsilon_x,\varepsilon_y には,等二軸状態(σx=σy=σ\sigma_x=\sigma_y=\sigma 及び εx=εy=ε\varepsilon_x=\varepsilon_y=\varepsilon)が成り立つ。基板の長さは LL,幅は WW であり,基板と薄膜のヤング率,ポアソン比,厚さをそれぞれ Es,νs,ts,Ef,νf,tfE_s,\nu_s,t_s,E_f,\nu_f,t_f とする。

(1) 図 1-1 に示すように,垂直応力 σx,σy\sigma_x,\sigma_y の下にある基板において,等二軸状態が成り立つ時,応力 σ\sigma とひずみ ε\varepsilon の関係を求めよ。

図 1-1 等二軸応力を受ける基板

(2) 外部からの応力が負荷されていない基板に薄膜を成膜する。成膜により,薄膜の内部には等二軸の圧縮応力が生じて基板と薄膜は図 1-2 に示すように変形し,その曲率半径は RR,中心角は θ\theta となった。その時の応力分布と曲げモーメントを図 1-3 に示す。ただし,tft_f は tst_s に比べて無視できるほど小さいため,中立面は基板の中央の位置にあり,薄膜中の応力 σf\sigma_f は,膜厚方向に一定と仮定する。

図 1-2 成膜による基板の変形

図 1-3 応力分布と曲げモーメント

1. 中立面から z1z_1 だけ離れた面における基板のひずみ ε1\varepsilon_1 を,曲率半径 RR と距離 z1z_1 を用いて表せ。

2. 中立面に対して,薄膜の応力 σf\sigma_f により生じる単位幅あたりの曲げモーメント MfM_f と,図 1-3 に示すように分布する基板の応力 σs\sigma_s により生じる単位幅あたりの曲げモーメント MsM_s を考える。MfM_f と MsM_s を Es,νs,ts,Ef,νf,tf,W,R,σfE_s,\nu_s,t_s,E_f,\nu_f,t_f,W,R,\sigma_f の中で必要なものを用いて表せ。

3. 平衡状態では MfM_f と MsM_s は等しいことを用いて薄膜の応力 σf\sigma_f を求めよ。

II​

図 1-4 のような,8 分割され,接着された薄肉円筒(内半径 rr,厚さ hh,長さ LL)の構造物を考える。構造物の上下はふたで接着され,密閉されている。材料は,引張り強さ σb\sigma_b,ヤング率 EE,ポアソン比 ν\nu の脆性材料である。接着層は十分に薄く,接着層の引張り強度を σtensile\sigma_{\mathrm{tensile}},せん断強度を σshear\sigma_{\mathrm{shear}} とする。ふたの部分は十分な補強がされており,ふた周辺では壊れないものとする。

図 1-4 八分割円筒と接着層

(1) 図 1-5 のように構造物に引張力 FF を負荷する。構造物の破壊が生じる条件を求めよ。

(2) 構造物内に内圧 PP がかかる場合を考える。構造物の破壊が生じる条件を求めよ。

(3) 図 1-6 のように構造物をねじりモーメント TT でねじる場合を考える。構造物の破壊が生じる条件を求めよ。

図 1-5 引張りおよび図 1-6 ねじり

(4) ここで,r=100 mmr=100\,\mathrm{mm},h=5 mmh=5\,\mathrm{mm},L=200 mmL=200\,\mathrm{mm},E=20 GPaE=20\,\mathrm{GPa},ν=0.3\nu=0.3 とし,σb=2σtensile=2σshear=200 MPa\sigma_b=2\sigma_{\mathrm{tensile}}=2\sigma_{\mathrm{shear}}=200\,\mathrm{MPa} とする。設問 (1)~(3) の場合において,構造物がどのように壊れるのかをそれぞれ説明せよ。必要に応じて,図を描け。

题目描述​

回答 I、II 两部分,各使用一张答题纸。

I

在固体基板上制备固体薄膜时,内部产生应力,使基板和薄膜发生变形。两者均为各向同性弹性体,且足够薄,可适用平面应力条件。x,yx,y 方向的正应力 σx,σy\sigma_x,\sigma_y 与正应变 εx,εy\varepsilon_x,\varepsilon_y 满足等双轴状态,即 σx=σy=σ\sigma_x=\sigma_y=\sigma,εx=εy=ε\varepsilon_x=\varepsilon_y=\varepsilon。基板长 LL、宽 WW;基板的杨氏模量、泊松比、厚度为 Es,νs,tsE_s,\nu_s,t_s,薄膜对应为 Ef,νf,tfE_f,\nu_f,t_f。

(1) 对图 1-1 中受正应力 σx,σy\sigma_x,\sigma_y 的基板,在等双轴状态下求应力 σ\sigma 与应变 ε\varepsilon 的关系。

(2) 在未施加外部应力的基板上成膜。薄膜内产生等双轴压应力,基板和薄膜按图 1-2 变形,曲率半径为 RR,圆心角为 θ\theta。应力分布和弯矩如图 1-3。因 tft_f 相对 tst_s 小到可以忽略,假设中性面位于基板厚度中央,薄膜应力 σf\sigma_f 沿厚度均匀。

1. 用曲率半径 RR 和距离 z1z_1 表示距中性面 z1z_1 处基板的应变 ε1\varepsilon_1。

2. 考虑薄膜应力 σf\sigma_f 对中性面产生的单位宽度弯矩 MfM_f,以及图 1-3 中基板应力 σs\sigma_s 产生的单位宽度弯矩 MsM_s。从 Es,νs,ts,Ef,νf,tf,W,R,σfE_s,\nu_s,t_s,E_f,\nu_f,t_f,W,R,\sigma_f 中选取必要量,表示 Mf,MsM_f,M_s。

3. 利用平衡时 Mf=MsM_f=M_s,求薄膜应力 σf\sigma_f。

II

考虑图 1-4 所示由八等分薄壁圆筒接合而成的结构,内半径 rr、厚度 hh、长度 LL。上下端通过粘接端盖密封。材料为脆性材料,抗拉强度 σb\sigma_b、杨氏模量 EE、泊松比 ν\nu。胶层足够薄,其抗拉强度为 σtensile\sigma_{\mathrm{tensile}},抗剪强度为 σshear\sigma_{\mathrm{shear}}。端盖经过充分加固,端盖周围不发生破坏。

(1) 按图 1-5 施加拉力 FF,求结构发生破坏的条件。

(2) 结构内施加内压 PP,求发生破坏的条件。

(3) 按图 1-6 施加扭矩 TT,求发生破坏的条件。

(4) 取 r=100 mmr=100\,\mathrm{mm}、h=5 mmh=5\,\mathrm{mm}、L=200 mmL=200\,\mathrm{mm}、E=20 GPaE=20\,\mathrm{GPa}、ν=0.3\nu=0.3,且 σb=2σtensile=2σshear=200 MPa\sigma_b=2\sigma_{\mathrm{tensile}}=2\sigma_{\mathrm{shear}}=200\,\mathrm{MPa}。分别说明 (1)~(3) 中结构如何破坏;必要时画图。

Kai​

I​

(1)​

平面応力のフックの法則より

ε=1−νsEsσ.\boxed{\varepsilon=\frac{1-\nu_s}{E_s}\sigma}.

(2)​

平面保持から ε1=z1/R\boxed{\varepsilon_1=z_1/R}。薄膜の圧縮応力の大きさを sf=−σf>0s_f=-\sigma_f>0 とすると

Mf≃sftfts2,Ms=∫−ts/2ts/2Esz1(1−νs)Rz1 dz1=Ests312(1−νs)R.\begin{gathered} M_f\simeq s_ft_f\frac{t_s}{2},\\ M_s=\int_{-t_s/2}^{t_s/2}\frac{E_sz_1}{(1-\nu_s)R}z_1\,dz_1 =\frac{E_st_s^3}{12(1-\nu_s)R}. \end{gathered}

両モーメントのつり合いより

sf=Ests26(1−νs)tfR,σf=−Ests26(1−νs)tfR(引張り正).\begin{gathered} \boxed{s_f=\frac{E_st_s^2}{6(1-\nu_s)t_fR}},\\ \boxed{\sigma_f=-\frac{E_st_s^2}{6(1-\nu_s)t_fR}}\\ \text{(引張り正)}. \end{gathered}

II​

(1)​

σz=F/(2πrh)\sigma_z=F/(2\pi rh)。軸方向の接着面に垂直な引張りやせん断は生じないため、母材の引張破壊条件は

F≥2πrhσb.\boxed{F\ge2\pi rh\sigma_b}.

(2)​

σθ=Pr/h\sigma_\theta=Pr/h、σz=Pr/(2h)\sigma_z=Pr/(2h)。最大主応力も、軸方向接着面の開口応力も Pr/hPr/h である。したがって

P≥hrmin⁡(σb,σtensile).\boxed{P\ge\frac{h}{r}\min(\sigma_b,\sigma_{\mathrm{tensile}})}.

(3)​

薄肉閉断面のねじりせん断応力は τ=T/(2πr2h)\tau=T/(2\pi r^2h)。母材の最大主応力は ∣τ∣|\tau|、接着面のせん断応力も ∣τ∣|\tau| なので

∣T∣≥2πr2hmin⁡(σb,σshear).\boxed{|T|\ge2\pi r^2h\min(\sigma_b,\sigma_{\mathrm{shear}})}.

(4)​

各限界荷重と破壊形態は次のとおり。

荷重限界値破壊形態
軸力Fc=6.28×105 NF_c=6.28\times10^5\,\mathrm N母材が軸に垂直な断面で引張破断
内圧Pc=5.00 MPaP_c=5.00\,\mathrm{MPa}軸方向の接着継手が開口して分離
ねじりTc=3.14×104 N mT_c=3.14\times10^4\,\mathrm{N\,m}軸方向の接着継手がせん断破壊

Reference​