東京大学 工学系研究科 機械工学専攻 2016年8月実施 機械工学第2部 問題 1
Author
祭音Myyura (Based on SN's answer refined with GPT 6 Astra)
Description
下記の I,II の両方について解答せよ。I の解答に答案用紙 1 枚を,II の解答に答案用紙 1 枚をそれぞれ用いること。
固体の基板上に固体の薄膜を成膜する際,その内部に応力が生じて基板と薄膜が変形することを考える。基板と薄膜は等方弾性体であり,平面応力条件が適用できるほど十分に薄い。また,x と y 軸方向の垂直応力 σx,σy 及び垂直ひずみ εx,εy には,等二軸状態(σx=σy=σ 及び εx=εy=ε)が成り立つ。基板の長さは L,幅は W であり,基板と薄膜のヤング率,ポアソン比,厚さをそれぞれ Es,νs,ts,Ef,νf,tf とする。
(1) 図 1-1 に示すように,垂直応力 σx,σy の下にある基板において,等二軸状態が成り立つ時,応力 σ とひずみ ε の関係を求めよ。

(2) 外部からの応力が負荷されていない基板に薄膜を成膜する。成膜により,薄膜の内部には等二軸の圧縮応力が生じて基板と薄膜は図 1-2 に示すように変形し,その曲率半径は R,中心角は θ となった。その時の応力分布と曲げモーメントを図 1-3 に示す。ただし,tf は ts に比べて無視できるほど小さいため,中立面は基板の中央の位置にあり,薄膜中の応力 σf は,膜厚方向に一定と仮定する。


1. 中立面から z1 だけ離れた面における基板のひずみ ε1 を,曲率半径 R と距離 z1 を用いて表せ。
2. 中立面に対して,薄膜の応力 σf により生じる単位幅あたりの曲げモーメント Mf と,図 1-3 に示すように分布する基板の応力 σs により生じる単位幅あたりの曲げモーメント Ms を考える。Mf と Ms を Es,νs,ts,Ef,νf,tf,W,R,σf の中で必要なものを用いて表せ。
3. 平衡状態では Mf と Ms は等しいことを用いて薄膜の応力 σf を求めよ。
図 1-4 のような,8 分割され,接着された薄肉円筒(内半径 r,厚さ h,長さ L)の構造物を考える。構造物の上下はふたで接着され,密閉されている。材料は,引張り強さ σb,ヤング率 E,ポアソン比 ν の脆性材料である。接着層は十分に薄く,接着層の引張り強度を σtensile,せん断強度を σshear とする。ふたの部分は十分な補強がされており,ふた周辺では壊れないものとする。

(1) 図 1-5 のように構造物に引張力 F を負荷する。構造物の破壊が生じる条件を求めよ。
(2) 構造物内に内圧 P がかかる場合を考える。構造物の破壊が生じる条件を求めよ。
(3) 図 1-6 のように構造物をねじりモーメント T でねじる場合を考える。構造物の破壊が生じる条件を求めよ。

(4) ここで,r=100mm,h=5mm,L=200mm,E=20GPa,ν=0.3 とし,σb=2σtensile=2σshear=200MPa とする。設問 (1)~(3) の場合において,構造物がどのように壊れるのかをそれぞれ説明せよ。必要に応じて,図を描け。
题目描述
回答 I、II 两部分,各使用一张答题纸。
I
在固体基板上制备固体薄膜时,内部产生应力,使基板和薄膜发生变形。两者均为各向同性弹性体,且足够薄,可适用平面应力条件。x,y 方向的正应力 σx,σy 与正应变 εx,εy 满足等双轴状态,即 σx=σy=σ,εx=εy=ε。基板长 L、宽 W;基板的杨氏模量、泊松比、厚度为 Es,νs,ts,薄膜对应为 Ef,νf,tf。
(1) 对图 1-1 中受正应力 σx,σy 的基板,在等双轴状态下求应力 σ 与应变 ε 的关系。
(2) 在未施加外部应力的基板上成膜。薄膜内产生等双轴压应力,基板和薄膜按图 1-2 变形,曲率半径为 R,圆心角为 θ。应力分布和弯矩如图 1-3。因 tf 相对 ts 小到可以忽略,假设中性面位于基板厚度中央,薄膜应力 σf 沿厚度均匀。
1. 用曲率半径 R 和距离 z1 表示距中性面 z1 处基板的应变 ε1。
2. 考虑薄膜应力 σf 对中性面产生的单位宽度弯矩 Mf,以及图 1-3 中基板应力 σs 产生的单位宽度弯矩 Ms。从 Es,νs,ts,Ef,νf,tf,W,R,σf 中选取必要量,表示 Mf,Ms。
3. 利用平衡时 Mf=Ms,求薄膜应力 σf。
II
考虑图 1-4 所示由八等分薄壁圆筒接合而成的结构,内半径 r、厚度 h、长度 L。上下端通过粘接端盖密封。材料为脆性材料,抗拉强度 σb、杨氏模量 E、泊松比 ν。胶层足够薄,其抗拉强度为 σtensile,抗剪强度为 σshear。端盖经过充分加固,端盖周围不发生破坏。
(1) 按图 1-5 施加拉力 F,求结构发生破坏的条件。
(2) 结构内施加内压 P,求发生破坏的条件。
(3) 按图 1-6 施加扭矩 T,求发生破坏的条件。
(4) 取 r=100mm、h=5mm、L=200mm、E=20GPa、ν=0.3,且 σb=2σtensile=2σshear=200MPa。分别说明 (1)~(3) 中结构如何破坏;必要时画图。
Kai
(1)
平面応力のフックの法則より
ε=Es1−νsσ.
(2)
平面保持から ε1=z1/R。薄膜の圧縮応力の大きさを sf=−σf>0 とすると
Mf≃sftf2ts,Ms=∫−ts/2ts/2(1−νs)REsz1z1dz1=12(1−νs)REsts3.
両モーメントのつり合いより
sf=6(1−νs)tfREsts2,σf=−6(1−νs)tfREsts2(引張り正).
(1)
σz=F/(2πrh)。軸方向の接着面に垂直な引張りやせん断は生じないため、母材の引張破壊条件は
F≥2πrhσb.
(2)
σθ=Pr/h、σz=Pr/(2h)。最大主応力も、軸方向接着面の開口応力も Pr/h である。したがって
P≥rhmin(σb,σtensile).
(3)
薄肉閉断面のねじりせん断応力は τ=T/(2πr2h)。母材の最大主応力は ∣τ∣、接着面のせん断応力も ∣τ∣ なので
∣T∣≥2πr2hmin(σb,σshear).
(4)
各限界荷重と破壊形態は次のとおり。
| 荷重 | 限界値 | 破壊形態 |
|---|
| 軸力 | Fc=6.28×105N | 母材が軸に垂直な断面で引張破断 |
| 内圧 | Pc=5.00MPa | 軸方向の接着継手が開口して分離 |
| ねじり | Tc=3.14×104Nm | 軸方向の接着継手がせん断破壊 |
Reference